用于测量毛细管或其它小孔零件的流通能力。

流量测量范围：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM

流量测量范围：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）

压力测量范围：0~1.5 MPa

压力测量精度：0.1%FS

系统单点漏率：1×10^-7SCCS He

供电电源：~220VAC±10%

zui大功耗：15 W

外形尺寸：440×260×260mm

重量：8 Kg